X射线科学仪器设备X-Ray Scientific Instrument Åthena Scientific D Series
Åthena Scientific D100
- 采用XRD、XRR技术
- 支持HRXRD、倒易空间图谱、物相鉴定、组份、薄膜厚度/粗糙度、高分辨微区分析、原位XRD
- 应用领域:学术界物理、材料研究, 工业界材料分析
Åthena Scientific D300
- 多功能可扩展大空间,支持300mm的大样品,支持面内机械臂外延薄膜/衬底,解析晶胞应力应变、弛豫度、掺杂浓度、RSM、缺陷密度
- 多晶/非晶薄膜晶相,结晶度,晶粒尺寸,应力,极图,织构分析,择优取向
- 外延/多晶/非晶薄膜厚度XRR解析
- 应用领域:学术界薄膜、器件研究,工业界材料分析,半导体与微电子应用